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【廣東,深圳市】深圳國際量子研究院電子束曝光機移機服務采購項目意向公開

標簽：采購公告廣東深圳國際量子研究院電子束曝光機移機服務采購項目意向公開深圳國際量子研究院招標信息招標采購

發(fā)布時間： 2024-09-27

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采購公告詳情

***電子束曝光機移機服務采購項目意向公開采購單位: *** 項目名稱: 電子束曝光機移機服務采購項目預算金額***3,400,000.000 采購品目: 其他機械設備采購需求概況: 申請將我院芯片中心現有的一臺電子束曝光機從慧園三棟移機至福田***區(qū)實驗場地。相關移機背景和申請理由說明如下：根據學校實驗室安全管理中心最新的“劇毒化學品的相關安全管理”規(guī)定，量子芯片中心受慧園3棟所處地理位置***，不滿足開展氯氣等特殊氣體環(huán)境下的刻蝕工藝相關實驗條件和環(huán)境，使該電子束曝光機的功能和使用效率大打折扣?；诖?，不得不將量子芯片中心核心工藝設備移機至符合國家安全規(guī)范的場地繼續(xù)開展實驗研究。電子束曝光是量子器件與芯片加工中心工藝中最重要的組成部分之一，超導量子計算芯片的約瑟夫森結、以及硅量子點等結構與器件由于設計線寬較?。?5nm至200nm），光刻制備工藝必須通過電子束曝光來完成，所以是實驗室無法替代的工藝環(huán)節(jié)，且該設備機時使用率常年穩(wěn)定在70%以上。而由于電子束曝光機工作原理及相關工藝要求，及出于對人身安全及設備安全考慮，移機需要專業(yè)的技術團隊及工具，所以只能通過原廠供應商進行移機服務。預計采購時間: 2024-10 聯系人: 賈老師聯系電話***備注: 無

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