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【重慶,北碚區(qū)】西南大學教學實驗及實訓基地設備更新項目-物理學專業(yè)實驗平臺建設
標簽： 招標公告重慶西南大學教學實驗及實訓基地設備更新項目-物理學專業(yè)實驗平臺建設西南大學招標信息招標采購
發(fā)布時間： 2024-10-01
發(fā)布時間 2024-10-01 截止日期 立即查看
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招標公告詳情

*** - 競價***M***) 發(fā)布時間：***截止時間***：***基本信息： 申購主題： ***教學實驗及實訓基地設備更新項目-物理學專業(yè)實驗平臺建設 報價***產含稅 發(fā)票類型： 增值稅專用發(fā)票 付款方式： 貨到后按照履約保證金支付方式付款 送貨時間： 發(fā)布競價***天內送達 安裝要求： 免費上門安裝（含材料費） 預算： 560,000.0000 人民幣 我要報價***： ***市/***區(qū)/***區(qū)/ 供應商資質： 備注說明： 采購明細： 序號 采購內容 數量 預算單價***型號 規(guī)格參數 質保及售后服務 附件 1 PVD 薄膜沉積系統(tǒng) 1 (套) 560,000.00 (人民幣) 杭州大華/MiniLab-60S 矩陣科技/RS-B400 Series 1. 1、 濺射沉積室 沉積室、連***道和法蘭均采用SUS304不銹鋼，材料致密放氣量??；前開門結構，有觀察窗和擋板，磁控靶安裝在下底盤，樣品臺在上頂板，腔室?guī)Х牢蹆纫r，可拆卸清洗。 2、真空系統(tǒng) 真空系統(tǒng) ★1）極限真空度：優(yōu)于3×10-5Pa (空載經烘烤除氣后） 2）恢復真空：從大氣抽至6×10-4Pa≤40min（充入干燥氮氣、短時間暴露大氣開始抽氣） 3）真空室漏率：關機12小時真空度≤5Pa。（新設備空載） ★4）系統(tǒng)真空檢漏漏率：小于5.0×10-10Pa·m3/s；內外表面電解拋光處理。 3、樣品臺 1）樣品臺：抽屜式結構可裝載最大4英寸基片托（方片尺寸100mm×100mm）可以根據客戶樣品形狀和大小定制樣品托。 2）樣品臺旋轉：轉速0～30rpm連續(xù)可調；步進電機控制，轉動平穩(wěn)。 3）工轉機構：采用上驅動，中心懸掛方式，磁流體無油密封傳動。轉動支承部位配有水冷套裝置，避免加熱器等熱源對運動精度的不良影響。加熱器周圍有隔熱保護罩，使基片受熱均勻。 4）樣品臺加熱：采用數字溫控儀，進口電阻合金進行加熱，加熱爐溫度：室溫～600℃，由熱電偶閉環(huán)反饋控制，可控可調?？販鼐取?℃，可分段設定升溫斜率。***區(qū)內，溫度均勻性±5℃。 4、磁控濺射靶組件 安裝4個磁控濺射靶組件，其中2個靶位可濺射磁性材料（如鎳或鐵等）。 5、工***路 1）3路質量流量計控制***路，可外接多種氣體，其中Ar：500sccm、O2：50sccm、N2：100sccm 精度±1%， 2）前端帶電磁截止閥和過濾器，后端配有混氣室； 6、濺射電源 1）射頻電源：功率500W，頻率13.56MHz，全自動匹配； 數量：1套 2）直流濺射電源：最大輸出功率：500W；輸出電壓：0～800V可調 數量：2套 （其中一臺直流電源一拖二，切換使用） 7、水路系統(tǒng) SUS304不銹鋼水排，保障循環(huán)供水到每個水冷部件；每路冷卻水采用水流感應開關檢測供水狀態(tài)，執(zhí)行異常報警。 8、軟件及其功能（配套控制軟件） ★1、投標人提供的成品軟件應具有著作版權，成品軟件應具有一鍵式操作功能，并配置多種標準工藝參數包，可以直接調取執(zhí)行；2、應具有自選參數功能，可設定好目標真空度、樣品目標加熱溫度、濺射電源工作參數，系統(tǒng)自動開始抽真空，達到目標真空度后開始加熱，達到目標溫度后根據設定的功率開啟濺射電源，濺射時間以設定的工作參數為準； ▲3、同時對濺射電源的功率和濺射時間可以設定多個數值，實現不同輸出功率、不同鍍膜時間的控制，進而實現多靶輪流濺射和共濺射； ★4、完備的工藝菜單編輯功能，大容量菜單存儲空間，滿足客戶菜單存儲需求（大于500個）； 5、具有操作日志記錄功能，記錄操操作時的關鍵信息。 ▲6、機身配置物聯網+二維碼服務系統(tǒng):手機掃描二維碼進入微信操作界面可顯示儀器信息、關注公眾號、點擊查看產品使用說明書、在線故障報修、用戶注冊等內容，投標人須提供二維碼識別證明材料。 9、工業(yè)冷水機 采用微電腦PLC控制，可自動控制整機運行，全功能防錯操作系統(tǒng)，電氣部分均為國際品牌，保證機器工作穩(wěn)定，壽命長久。全鈦管式水箱蒸發(fā)器，防止純水在輸送過程中產生固體和其它金屬雜質。精密數顯溫度控制器，能精確控制水溫±1℃，按鍵式操作，安裝簡便，靜電噴塑外殼，歐化設計，美觀大方，外表板采用快速拆裝形式。 10、閥***元 11、備品備件 1套 （設備的詳細參數見附件） 按行業(yè)標準提供服務
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