*** 山東高密***

*** PTVD***

*** 1、設備外形尺寸：主機 500mm×500mm×1500mm（長×寬×高）； 2、主機骨架：采用4#型材焊接,表面烤漆處理，設備表面溫度≤45℃； 3、真空腔體：采用不銹鋼腔體外徑φ70mm，石墨坩堝外徑φ45mm； 4、真***路：采用KF25波紋管，與腔體之間方便拆裝； 5、加熱爐體相關參數： 5.1、爐體結構：一體式，上下兩段； 5.2、爐體尺寸：φ385*400/300mm，兩段加熱器之間配置支撐保溫； 5.3、長期工作溫度：≤800℃； 5.4、設計最高溫度：900℃； 5.5、單點溫控穩(wěn)定性：800℃±2℃； 5.6、開機溫度重復性：≤2℃； 5.7、升溫速度：≤10℃/分； 5.8、***區(qū)：2***區(qū)獨立控制；***